半導体微細化で商機ー「EUV」の需要強まる

ニュース

2020/10/15 17:30

 電子回路の微細化の動きを背景に、半導体セクターに人気再燃の兆しが出ている。オランダの露光装置大手ASMLホールディングスは、パターニングの光源にEUV(極端紫外線)を用いた最先端の製造工程で使う製品・・・

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