スクリーン、グループ会社が東エレク、キヤノンとの提案でNEDOに採択される
2021/4/7 16:03
SCREENホールディングス<7735.T>グループのSCREENセミコンダクターソリューションズは6日、東京エレクトロン(東エレク)<8035.T>、キヤノン<7751.T>と共同で、NEDO(新エネルギー・産業技術総合開発機構)が公募した「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(助成)」の応募テーマ「先端半導体の前工程技術(微細化技術)の開発」に採択されたと発表した。
今回の募集事業の「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(助成)」は、2nm以降の先端半導体製造プロセスのうち前工程における製造技術(微細化技術)の開発を目指しており、同社では、洗浄およびアニール技術と装置に関する研究開発を実施する予定としている。
7日の終値は、前日比390円安の1万930円。
提供:モーニングスター社
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