三菱電機、大阪大学およびスペクトロニクスと「高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置」の試作機を開発

株式

2021/6/23 8:18

 三菱電機<6503.T>は22日、大阪大学、スペクトロニクス(大阪府吹田市)と、次世代のレーザー加工装置として、高速に微細加工できる「高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置」の試作機を開発したと発表した・・・

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