キヤノン、後工程向けのi線半導体露光装置を発売

株式

2022/12/6 13:57

 キヤノン<7751.T>は6日、半導体デバイス製造における後工程向けの半導体露光装置の新製品として、0.8μm(マイクロメートル)の高解像力とつなぎ露光による100×100mmの超広画角の露光を可能・・・

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