キヤノン、大型四角基板への対応と高い解像力を両立した後工程向けi線ステッパーを発売

株式

2020/6/24 8:22

 キヤノン<7751.T>は23日、半導体露光装置の新製品として、515×510mmまでの大型四角基板への対応と1.0マイクロメートルの高い解像力を両立した後工程向けi線ステッパー「FPA-8000i・・・

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