スクリン、グループ会社がパターン検査に対応するウエハー外観検査装置を販売
2022/11/15 15:54
SCREENホールディングス(スクリン)<7735.T>は14日、グループのSCREENセミコンダクターソリューションズが、次世代パワーデバイスやCIS、MEMSなどのパターン検査に対応するウエハー外観検査装置「ZI-3600」を開発し、11月から販売を開始したと発表した。
開発した装置は、150-300mmの幅広いサイズのウエハー外観検査に対応。独自開発の検査ヘッドと改良した高速画像処理エンジンにより、従来比約2倍の実用処理能力を実現した。加えて、解像度の異なる3種類の対物レンズを1つのヘッドに搭載することで、レンズを最適な解像度に自動で切り替えながら検査を行うため、微細欠陥からマクロ欠陥までの幅広い検査を一台で対応できるという。
15日の終値は、前日比190円高の9120円。
提供:モーニングスター社
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