東レ、デジタル検出器システムで世界最高分解能を実現するシンチレータパネルを開発

株式

2023/3/9 13:26

 東レ<3402.T>は9日、デジタル検出器システム(DDA)において、世界最高分解能を実現するシンチレータパネルを開発したと発表した。 今回、ネガ型フォトリソグラフィ技術の極限追求で、厚み400マイ・・・

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