レーザーテック、「ビア深さ測定装置VIANCAシリーズ」を製品化
2023/12/5 16:26
レーザーテック<6920.T>は4日は、次世代プロセスで必要とされる高アスペクトレシオ小径ビアのエッチング深さの高精度な測定を可能にした「ビア深さ測定装置VIANCAシリーズ」を製品化したと発表した。
同社によると、VIANCAシリーズは独自の光学系により、従来の光学系では測定不可能であった高アスペクトレシオ小径ビアの深さ測定を実現し、Cu配線後のCu高さ測定など、HBM(広帯域メモリ)製造工程における重要な品質管理項目を高精度に測定することを可能にしたという。
5日の終値は、前日比690円安の3万3780円。
提供:ウエルスアドバイザー社
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