Vテク、シリコンウェーハの製造歩留まりを改善する結晶欠陥検査装置の出荷開始
2023/12/12 16:07
ブイ・テクノロジー<7717.T>は11日、グループ会社のナノシステムソリューションズ(NSS)が、シリコンウェーハの製造歩留まりを改善する結晶欠陥検査装置の出荷を開始したと発表した。
NSSは、偏光イメージング技術を用いた独自の結晶検査光学系の開発に成功。インラインの生産装置として業界最高速(同社調べ)のスループットである毎時133枚での検査を実現し、1号機を出荷したという。今後、検査精度を一層向上させるとともに、26年度の販売台数20台の実現を目指す。
12日の終値は、前日比136円高の2584円。
提供:ウエルスアドバイザー社
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