スクリーン、グループ会社がスピンプロセッサ「SP-2100」を開発
2020/6/29 7:36
SCREENホールディングス<7735.T>は25日、グループのSCREENセミコンダクターソリューションズが、200mmまでのウエハーに対応するスピンプロセッサ(枚葉式洗浄装置)「SP-2100」を開発し、販売を開始したと発表した。
開発した「SP-2100」は、シリコンウエハーはもちろん、従来の処理装置では最適化が困難だった多様な化合物ウエハーにも対応。76mm(3インチ)から200mm(8インチ)まで、幅広いサイズのウエハーの処理が可能という。また、メタルエッチング工程にも対応できるほか、従来は半導体工場内のサブエリアに設置されていた薬液キャビネットを本体に内蔵することで、省スペースを実現した。さらに、目的や用途に応じて処理チャンバー数を選択できるため、アプリケーションに合わせた柔軟な装置構成が可能になっているという。
26日の終値は、前日比20円高の5050円。
提供:モーニングスター社
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