日立、グループの日立ハイテクが電子線広視野検査システム「GS1000」を開発

株式

2021/12/14 8:23

 日立製作所(日立)<6501.T>グループの日立ハイテクは13日、電子線広視野検査システム「GS1000」を開発したと発表した。 開発したシステムは、実績のある高速検査SEMと共通のプラットホームを・・・

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