ニデック、子会社ニデックインスツルメンツが半導体ウエハー搬送用ロボットの新製品を発売

株式

2023/8/30 16:16

 ニデック<6594.T>は29日、子会社のニデックインスツルメンツが、半導体ウエハー搬送用ロボットの新製品を発売したと発表した。

 新製品は半導体製造装置の中で、バッチ式熱処理装置など、多数の基板をスロットピッチの違うステージへの移載を必要とする工程への採用を見込む。ハンドの水平移動にアームリンク構造を用い、最小6.5ミリメートルの狭ピッチまで適用可能な最小回転半径が小さいロボットとした。

 30日終値は、前日比153円高の7606円。

提供:ウエルスアドバイザー社

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